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靶材

溅射沉积ddr计算公式

2023-12-20 15:52:27

溅射沉积ddr计算公式溅射沉积(Sputter Deposition,简称SD)是一种常用的薄膜制备方法,广泛应用于光电子、微电子、纳米技术等领域。它通过高能离子轰击固体表面,使表面原子离开固体并沉积在目标基底上。溅射沉积的核心过程是溅射。在溅射装置中,靶材和基底置于真空室内,并通过辅助电源提供正离子束。当高能离子轰击靶材表面时,靶材中的原子被击中并弹出,形成离子和中性原子的混合束流。离子束穿过真...

脉冲激光沉积原理

2023-12-20 15:31:08

脉冲激光沉积原理deposition    脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition,简称PLD)是一种将激光束瞬间作用于靶材表面,使其物质溅射,在底板上沉积成薄膜的技术。该技术具有高纯度、高简化度、高复杂度、高膜质量和高可控性等优点,可广泛应用于各种材料的薄膜制备和研究。    PLD技术的实现基础是激光与物质相互作用的几个基本过程,包...

pvd磁控溅射原理

2023-12-20 15:19:45

pvd磁控溅射原理PVD磁控溅射简介PVD磁控溅射(Physical Vapor Deposition Magnetron Sputtering)是一种常用的薄膜制备技术。它能够在材料表面沉积一层精密、均匀的薄膜,具有广泛的应用领域。原理PVD磁控溅射利用高能粒子撞击物质表面,使得物质从源材料蒸发、溅射并沉积在基底上。以下是PVD磁控溅射的主要原理:1. 原始材料选择合适的源材料作为溅射靶材。这些...

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