MOCVD设备概况  德国AIXTRON公司（德国艾思强公司）和美国VEECO公司（美国维易科精密仪器有限公司）两家公司几乎生产了全球90％以上的主流MOCVD设备。1、生产效率和成本概况国际上MOCVD技术已经相当成熟，主流设备从2003 年6-8 片机、2004 年12 片机、2005 年15片机、2006 年的21-24 片机，目前已经达到42、45、49 片机（一次可装载49片...

MOCVD设备概况德国AIXTRON公司（德国艾思强公司）和美国VEECO公司（美国维易科精密仪器有限公司）两家公司几乎生产了全球90％以上的主流MOCVD设备。1、生产效率和成本概况国际上MOCVD技术已经相当成熟，主流设备从2003 年6-8 片机、2004 年12 片机、2005 年15片机、2006 年的21-24 片机，目前已经达到42、45、49 片机（一次可装载49片2英寸的衬底生长...

DIFF专有名词DIFF何谓RTA?答：快速热退火(rapid thermal annealing)退火(anneal)的目的?答：修补晶格的偒害目前RTA分为那二种加热系统?答：(1) LAMP(灯泡)加热. (2) Furnace (炉)加热在快速升温设备中,常用何种气体作制程洁净?答：N2 (氮气)何谓Pyrometer?有何作用?答：(1) 红外光高温温度计.(2) 用于测量晶圆温度.RT...

金属前介质层（PMD） 金属间介质层（IMD）W塞 （W PLUG）钝化层（Passivation） Cassette 装晶片的晶舟 CD：critical dimension 关键性尺寸，临界尺寸 Chamber 反应室 Chart 图表 Child lot 子批 chiller 制冷机 Chip (die) 晶粒 Chip：碎片或芯片。 clamp 夹子 CMP 化学机械研磨...