(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号 CN 1180918 A
(43)申请公布日 1998.05.06
(21)申请号 CN97109530.2
(22)申请日 1997.02.05
(71)申请人 佳能株式会社
    地址 日本东京
(72)发明人 长谷川光利
(74)专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
    代理人 杨国旭
(51)Int.CI
      H01J9/00
38所                                                                  权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
      电子发射器件、电子源和图像形成设备的生产方法
(57)摘要
      生产一种电子发射器件,该器件带有包括电子发射区域的导电膜,该导电膜设于一对器件电极之间。上述导电膜是通过下述步骤形成的,即通过喷墨方法将包括上述导电膜的材料的液体敷设于基层上,之后对所敷设的液体进行干燥和加热。对在所敷设的液体,初始膜或导电膜中的有缺陷状态进行检查,该所敷设的液体或初始膜是通过对上述液体干燥形成的,该导电膜是通过对初始膜加热形成的,对发现处于有缺陷的状态的区域再次敷设相同的液体进行修正。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
权 利 要 求 说 明 书
1.一种电子发射器件的生产方法，该器件具有导电膜，该导电膜包括设于一对器件电极之间的电子发射区域，其特征在于，形成具有电子发射区域的导电膜的步骤包括：通过喷墨方法将包括导电膜的材料的液体敷设于基层上，之后在敷设液体中对有缺陷的状态进行检查，再次通过喷墨方法将包括上述导电膜的材料的液体敷设于下述区域，该区域指在前述所敷设的液体中检查出处于有缺陷状态的区域。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所敷设的液体中检查处于有缺陷状态的步骤包括通过对所敷设的液体进行干燥而形成的导电膜中的初始膜进行检查。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，上述对初始膜进行检查的步骤包括对上述初始膜
的位置进行检查。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，上述对初始膜进行检查的步骤包括对上述初始膜的外形进行检查。
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，上述对初始膜进行检查的步骤包括对上述初始膜上是否存在异物进行检查。
6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在将上述材料溶剂敷设于通过对初始膜检查的步骤而发现有缺陷的初始膜上的步骤之后，进行上述的再次敷设包括导电膜材料的液体的步骤。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，上述待敷设于发现有缺陷的初始膜上的溶剂为下述的溶剂，该溶剂用于包括上述导电膜的材料的液体。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，上述待敷设于发现有缺陷的初始膜上的溶剂为下述的溶剂，该溶剂为包括下述配体的溶剂，该配体可与上述初始膜中的成分螯合。
9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，上述初始膜溶剂的敷设是通过喷墨系统实现的。
10.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，将溶剂敷设于下述的初始膜上，该初始膜在对其进行检查的步骤中发现有缺陷，对所敷设的溶剂进行加热，之后进行再次敷设包括上述导电膜材料的液体的步骤。
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，上述待敷设于发现有缺陷的初始膜上的溶剂为下述的溶剂，该溶剂用于包括上述导电膜的材料的液体。
12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，上述待敷设于发现有缺陷的初始膜上的溶剂为下述的溶剂，该溶剂为包括下述配体的溶剂，该配体可与上述初始膜中的成分螯合。
13.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，上述初始膜溶剂的敷设是通过喷墨系统实现的。
14.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，将溶剂敷设于下述的初始膜上，该初始膜在对其进行检查的步骤中发现有缺陷，对所敷设的溶剂进行加热，接着将敷设溶剂的经加热的区域暴露于还原环境中，之后进行再次敷设包括上述导电膜材料的液体的步骤。
15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，上述待敷设于发现有缺陷的初始膜上的溶剂
为下述的溶剂，该溶剂用于包括上述导电膜的材料的液体。
16.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，上述待敷设于发现有缺陷的初始膜上的溶剂为下述的溶剂，该溶剂为包括下述配体的溶剂，该配体可与上述初始膜中的成分螯合。
17.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，上述初始膜溶剂的敷设是通过喷墨系统实现的。
18.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，将溶剂敷设于下述的初始膜上，该初始膜在对其进行检查的步骤中发现有缺陷，将该溶剂吸收，之后进行再次敷设包括上述导电膜材料的液体的步骤。
19.根据权利要求18所述的方法，其特征在于，上述待敷设于发现有缺陷的初始膜上的溶剂为下述的溶剂，该溶剂用于包括上述导电膜的材料的液体。
20.根据权利要求18所述的方法，其特征在于，上述待敷设于发现有缺陷的初始膜上的溶剂为下述的溶剂，该溶剂为包括下述配体的溶剂，该配体可与上述初始膜中的成分螯合。
21.根据权利要求18所述的方法，其特征在于，上述初始膜溶剂的敷设是通过喷墨系统实现的。
22.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，上述在所敷设的液体中检查处于有缺陷的状态的步骤包括通过对所敷设的液体进行干燥和加热而形成的导电膜进行检查。
23.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，上述对导电膜进行检查的步骤包括对导电膜的电阻值进行测量。
24.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，在作为上述导电膜的检查的结果，将发现有缺陷的导电膜去除的步骤之后，进行再次敷设包括导电膜材料的液体的步骤。
25.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，上述将发现有缺陷的导电膜去除的步骤包括通过粘接介质将有缺陷的导电膜去除。
26.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，作为上述导电膜的检查的结果，将发现有缺陷的导电膜暴露于还原环境中，接着将该导电膜去除，之后进行再次敷设包括导电膜材料的液体的步骤。