第24课：带楔块误差的校验和图像误差的AI分析的公差实例
本课程将介绍前面讨论的一些功能，并添加一些有趣且功能强大的新选项。在这里，我们将使用BTOL来计
算八片透镜的公差预算，然后查看通过校验单元格中的元件来补偿楔形误差的情况下的像质统计。最后，我们
将在重新聚焦镜头和校验元件之后，检查一组100个镜头的横向差的统计数据，这些镜头受预算限制。
这是一个MACro，它将创建公差预算：
FETCH X33  ! Get out the starting lens.
BTOL 90  ! Ask for 90% confidence level.
TPR ALL  ! All surfaces are matched to testplates.
EXACT ALL INDEX ! Assume melt data are received,
EXACT ALL VNO  ! so the index and dispersion tolerances are zero.
TOL WAF .18 .32 .18 ! Ask for this wavefront variance at three field points.
FOCUS REAL  ! Focus the on-axis image point
ADJUST 14 TH 100 ! with thickness 14 (the last airspace).
PREP MC  ! Prepare the input for Monte-Carlo evaluation.
GO  ! Start BTOL.
在SYNOPSYS™中打开名为X33.RLE的文件，我们使用FETCH命令将其取出。
运行此MACro时，BTOL预算已准备好并列在探测器上。现在我们需要使用MC。调整MACro由
BTOL准备，命名为MCFILE.MAC。让我们看看它包含什么。我们输入LM MCFILE来加载
MACro：
PANT                                                                                      VY  14 TH                                                                                  END                                                                                        AANT                                                                                      M  0.000000E+00 0.3333    A  2 XC  0.000 0  .1      0.000                                M  0.297953E-05 0.3333 SR A  2 YC  0.000 0  .1      0.000                                M  0.000000E+00 0.3333    A  2 XC  0.000 0 -.1      0.000                                M  -0.297953E-05 0.3333 SR A  2 YC  0.000 0 -.1      0.000                                M  0.297953E-05 0.3333    A  2 XC  0.000 .1 0      0.000                                M  0.000000E+00 0.3333 SR A  2 YC  0.000 .1 0      0.000
M-0.297953E-05 0.3333    A  2 XC  0.000 -.1 0      0.000                                M  0.000000E+00 0.3333 SR A  2 YC  0.000 -.1 0      0.000                                M  -0.177180E-02 0.3333    A  2 XC  0.000 -.64 .64  0.000                                M  0.177180E-02 0.3333 SR A  2 YC  0.000 -.64 .64  0.000                                M  0.177180E-02 0.3333    A  2 XC  0.000 .64 .64    0.000                                M  0.177180E-02 0.3333 SR A  2 YC  0.000 .64 .64    0.000                                M  0.177180E-02 0.3333    A  2 XC  0.00
0 .64 -.64  0.000                                M  -0.177180E-02 0.3333 SR A  2 YC  0.000 .64 -.64  0.000                                M  -0.177180E-02 0.3333    A  2 XC  0.000 -.64 -.64  0.000                                M  -0.177180E-02 0.3333 SR A  2 YC  0.000 -.64 -.64  0.000                                M  0.000000E+00 0.6667    A  3 XC  0.000 0  0.      0.000                                M  0.000000E+00 0.6667    A  3 YC  0.000 0  0.      0.000                                M  0.000000E+00 0.6667    A  3 XC  0.000 0  .1      0.000                                M  0.149918E-03 0.6667    A  3 YC  0.000 0  .1      0.000                                M  0.000000E+00 0.6667    A  3 XC  0.000 0 -.1      0.000                                M  -0.149918E-03 0.6667    A  3 YC  0.000 0 -.1      0.000                                M  0.149918E-03 0.6667    A  3 XC  0.000 .1 0.      0.000                                M  0.000000E+00 0.6667    A  3 YC  0.000 .1 0.      0.000                                M  -0.149918E-03 0.6667    A  3 XC  0.000 -.1 0      0.000                                M  0.000000E+00 0.6667    A  3 YC  0.000 -.1 0      0.000                                END                                                                                        SYNOPSYS 10                                                                                MC
根据要求，PANT文件中的最后一个空气间隔是变化的，并且AANT文件定义了一个评价函数，
如果调整能够恢复名义设计完全相同的光线模，它将精确地收敛到零。现在我们需要准备我们的MC
MACro。（这是我们指定所需蒙特卡罗分析的文件，而上面显示的文件MCFILE.MAC指定了我们想
要在每个案例上运行的调整。它们是单独的文件。）
首先，我们将使用随机楔形方向运行MC。这是MACro：
MC ITEMIZE
SAMPLES 1  ! One case, please.
LIBRARY 5  ! We saved the initial lens in library location 5.
WORST ALL 1  ! Later we may want to see a worst case.
THSTAT UNIFORM ! Uniform thickness statistics.
WEDGES RANDOM  ! Wedges have random orientation.
TEST  !Let’s just look at a perturbed example.
GO  ! Run MC.
在这里，我们不优化任何东西，只是准备一个单一的扰动示例，以便我们可以检查它。（元件现在都有楔形误差，因此PAD显示不能像以前那样为元件着。）
好吧，让我们运行一组100个镜头并查看统计数据。首先我们GET 5（恢复标称镜头），然后注释掉TEST指令并更改样本编号。
MC ITEMIZE
SAMPLES 100 ! Ask for a set of 100 lenses.
LIBRARY 5
QUIET
WORST ALL 1
THSTAT UNIFORM
WEDGES RANDOM
!TEST GO
当MC完成时，我们将获得MC PLOT的统计图。
所有这一切都非常简单，现在我们让事情变得更有趣。我们更改我们的MACro如下：MC ITEMIZE
SAMPLES 100
LIBRARY 5
QUIET
WORST ALL 1
THSTAT UNIFORM
WEDGES CLOCK! Clock the wedge errors for each case.
TEST ! Again make a single TEST case.
GO
现在，程序将使用GROUP而不是RELATIVE倾斜，使用不同的协议对元件倾斜进行建模。这释放了每个元件上的gamma倾斜，用于引起楔形误差。我们要求一个测试用例，以便我们可以检查错误是如何定义的。执行此操作后，我们会查看扰动镜头的ASY列表：
TILT AND DECENTER DATA
LEFT-HANDED COORDINATES
_______________________________________________________________________________
SURF TYPE            X            Y            Z    ALPHA      BETA    GAMMA
_______________________________________________________________________________
TILT OR DECENTER GROUP SIZE:  3
1GROUP      0.00358    -0.00501      0.00000    0.0142    0.0000    0.0000
2REL        0.00000      0.00000      0.00000  -0.0088    0.0000    0.0000
3REL        0.00000      0.00000      0.00000    0.0112    0.0000    0.0000  TILT OR DECENTER GROUP SIZE:  2
5GROUP      -0.00977    -0.00652      0.00000    0.0749    0.0000    0.0000
6REL        0.00000      0.00000      0.00000    0.0000    0.0235    0.0000
TILT OR DECENTER GROUP SIZE:  2
7GROUP      -0.01686      0.02519      0.00000    0.0701    0.0000    0.0000
8REL        0.00000      0.00000      0.00000    0.0000  -0.0103    0.0000  TILT OR DECENTER GROUP SIZE:  3
9GROUP      -0.01049    -0.02937      0.00000    0.0000    0.0462    0.0000
10REL        0.00000      0.00000      0.00000    0.0000    0.0183    0.0000tilt
11REL        0.00000      0.00000      0.00000  -0.0140    0.0000    0.0000  TILT OR DECENTER GROUP SIZE:  3
12GROUP      0.00107    -0.02203      0.00000    0.0000    0.0215    0.0000
13REL        0.00000      0.00000      0.00000  -0.0291    0.0000    0.0000
14REL        0.00000      0.00000      0.00000    0.0198    0.0000    0.0000
15 REL        0.00000      0.00000      0.00000    0.0000    0.0060
0.0000
从该列表中我们看到表面1,5,7,9和12已经被分配了组倾斜。除了表面1上的gamma倾斜之外，我
们将改变所有这些，这提供了参考方向。
好的，我们需要修改我们的文件MCFILE.MAC，添加gamma倾斜变量。我们也选择在进行更复杂的
优化时进行。然后我们保存新的MACro，以便MC能够打开它并查看更改。它看起来像这样：
PANT                                                                                      VY 14 TH
VY 5 GPG  ! Vary group gamma tilt on surfaces 5, 7, 9, and 12 (but not surface 1).  VY
7 GPG
VY 9 GPG
VY 12 GPG
END
AANT                                                                                      M 0 1 A P YA  ! Control the boresight error this way.
M 0 1 A P XA
GSR .5 10 5 M 0 0 0 F ! Correct over the full pupil since the lens no longer has
! bilateral symmetry.
GNR .5 2 3 M .7 0 0 F
GNR .5 1 3 M 1 0 0 F
GNR .5 2 3 M -.7 0 0 F  ! For the same reason we also control the negative field.
GNR .5 1 3 M -1 0 0 F
END                                                                                        SYNOPSYS 10                                                                                MC
当我们运行它时，我们得到改进的统计数据：